概述：

本機是主要應(yīng)用于太陽能電池和半導(dǎo)體硅片等的沖洗甩干工藝環(huán)節(jié)，具有容量大、效率高的特點。

主要特點：

彩色液晶觸摸屏實時監(jiān)控，可存儲多種工藝菜單。

腔體和轉(zhuǎn)架采用316不銹鋼，電化學(xué)拋光處理。

去離子水電阻率監(jiān)控功能。

無刷電機驅(qū)動

氮氣溫度控制

轉(zhuǎn)軸氮氣密封

具有鎖蓋防護功能

故障診斷、顯示、報警功能

可提用戶特殊要求配置